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LDI激光直写光刻机
LDI激光直写光刻机

参考价栻/p>面议

型号

LDI激光直写光刻机

品牌

科毅科技

产地

广东

样本

暂无
科毅科技股份有限公司

高级会员

|

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生产啅/p>

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    项目

    参数

    支持基板尺寸

    12inch（兼?inch（/span>

    分辨玆/span>

    L/S 2/2μm；Hole 4μm

    套刻精度

    正面±0.6μm、背面优?μm

    光源类型

    LD

    产能

    40WPH


    创新炸/div>

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