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项目 |
参数 |
类型 |
自动上片/下片 |
转逞/span> |
10-6000rpm |
晶圆尺寸 |
2-12?nbsp; |
热盘温度 |
**150ℂ/span> |
控制系统 |
PLC,PC |
均匀?/span> |
?% ?nbsp;?% |
暂无数据
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