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项目 |
参数 |
晶圆尺寸 |
6?12“/span> |
刻蚀材料 |
Si、SiC、GaAs、GaN4等可定制 |
产能 |
?8PCS（每次运?80s（/span> |
工艺指标 |
UPTIME>95%,MTTR< 4H , 颗粒增加?nbsp;<20ea@0.2um 8?nbsp;Bare |
暂无数据
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