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半自?全自动接触式光刻朹/span>品牌
科毅科技产地
广东样本
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项目 | 参数 |
曝光光源 | 350W?00W?KW?KW汞灯/UV-LED |
晶圆尺寸 | 2?12“/span> |
均匀?/span> | ?nbsp;±3?nbsp;?nbsp;≤??nbsp; |
对准精度 | ±1μm(选配±0.5μm(/span> |
分辨玆/span> | ±1μm(选配±0.8μm(/span> |
产能 | ?0wph |
暂无数据
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