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型号
TGV 化学湿法蚀刻设夆/span>品牌
圭华智能产地
广东样本
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TGV 化学湿法蚀刻设夆/p>
国产光学仪器及设夆/p>
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设备特点
?nbsp;蚀刻液无消耗,恒定浓度蚀刻,直径和厚度尺寸与理论值一至/p>
温控窗口宽,蚀刻液浓度温度不敏感,一致性好
?nbsp;蚀刻后表面粗糙度基本不受/p>
?nbsp;满足无氟安全环保、低成本、高效率、高量产需汁/p>
工艺流程
上料
蚀刺/p>
浸泡⽔洗
蚀刺/p>
浸泡⽔洗
浸泡酸洗
浸泡⽔洗
慢提拈/p>
烘⼲
下料
设备参数
项目 |
技术参?/p> |
| 加工尺寸 | 515*510mm?20*730mm ?2寸晶圆可逈/td> |
| 孔径大小 | ?.5um |
暂无数据
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