参考价栻/p>面议
型号
Mini Led 全自动晶圆隐切设夆/span>品牌
圭华智能产地
广东样本
暂无主轴转速：
-切割片尺寸：
-装机功率（kw）：
-切割朹/p>
Mini Led 全自动晶圆隐切设夆/p>
国产切割朹/p>
看了Mini Led 全自动晶圆隐切设备的用户又看亅/p>
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应用领域
适用于SI、SiC、InP、GaAs、GaN、蓝宝石 衬底晶圆、玻璃晶圆等材料加工
设备特点
? 全自动激光多焦点隐形切割
? 斜裂检 ，自动间距修止/p>
? 光斑多次整型，加工直线度好，斜裂角小
? 位移传感器反馈信号，通过压电陶瓷电机控制，实现亚微米级加工精?/p>
? 采用高端激光器，独特的光学整形技术。形成无损隐形切割效果，崩边?0um
? 采用高稳定激光器、独特的光学系统及高稳定平台，工艺效果稳宙br style="box-sizing: border-box;"/>? 配备自动跟随系统，切割深度随片厚实时调整，可兼容±10μm片厚误差
? 配备光学自动对焦或激光自动对焦系绞/p>
? 可配CCD携带红外成像系统，具备正、背切功胼br style="box-sizing: border-box;"/>? 电性能优良
设备参数
?nbsp;?/span> |
技术参?/span> |
激光器 |
5w红外皮秒 |
工件尺寸 |
φ 300 |
X轴行稊/span> |
320mm |
X轴加速度 |
2G |
X?*速度 |
1 ?nbsp;2000mm/sec |
X轳/span>重复定位精度 |
≣/span>±1μm |
X轴解析度 |
0.1μm |
Y轴行稊/span> |
320mm |
Y轴加速度 |
1G |
Y?*速度 |
1 ?nbsp;1000mm/sec |
Y轳/span>重复定位精度 |
≣/span>±1μm |
Y轴解析度 |
0.1μm |
Z轴行稊/span> |
50mm |
Z轳/span>重复定位精度 |
≣/span>±1μm |
Z轴解析度 |
0.1μm |
θ轴旋转角?/span> |
120° |
θ?nbsp;解析?/span> |
0.1μm |
机器控制系统软件 |
LASER STUDIO，集成视觉、激光和运动 |
电力需汁/span> |
AC380V/50Hz/4.5KVA |
设备总重 |
2500Kg |
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
