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型号
狭缝涂布设备品牌
圭华智能产地
广东样本
暂无半导体行业专用仪?/p>
狭缝涂布设备
国产半导体行业专用仪?/p>
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应用领域
应用领域 : 全面覆盖 TGV(玻璃通孔)?.5D/3D IC、FOPLP(面板级扇出封装)、Chiplet 等先进封装技术节点、/p>
设备特点
本系统是一套集成了高精度狭缝涂布机、加热真空干燥(HVCD)炉及精准预固化炉的自动化生产线。通过自动化传输系统与智能集成管理软件无缝联动,实现了从基板上料、涂布、干燥到固化的全流程一体化作业。从而实 (1+1+1 > 3)的效枛/p>
设备参数
1 |
产品尺寸 |
510mm*515mm 730mm*920mm |
2 |
基板厚度 |
0.3~2mm |
3 |
干膜厚度 |
0.2-25um |
4 |
涂布速度 |
100mm/s |
暂无数据
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