半导体行业专用仪?/p>
TCSS-200
国产半导体行业专用仪?/p>
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设备型号
TCSS-200A型单工位线切朹/span>
TCSS-200B型双工位线切朹/span>
TCSS-200L型单线截断机
适用范围
光学玻璃、石英玻璃、蓝宝石等；
半导体晶硅；
碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料；
稀土永磁；
压电陶瓷、磁性陶瓷、光学陶瓷、石英陶瓷等：/span>
其他非金属硬脆材斘/span>
加工精度
| 项目 | TCSS-200B型双工位线切朹/span> | TCSS-200A型单工位线切朹/span> | TCSS-200L型单线截断机 |
| 平面?mm) | ?.03 | ?.03 | ?.05 |
| 平行?mm) | ?.03 | ?.03 | ?.05 |
| 一致?mm) | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
| 表面粗糙?Ra) | ?.5 | ?.5 | ?.6 |
| 切缝宽度偏差 | ±5% | ±5% | ±5% |
暂无数据
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