半导体行业专用仪?/p>
APIOS NE-950EX
国产半导体行业专用仪?/p>
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产品特 / Product characteristics
?nbsp; 4inch晶圆可放?片同时处理,6inch晶圆可实?片同时处理,小尺寸晶圆方面,2inch晶圆可实?9片?英寸可对?2片同时处理、/p>
搭载了在化合物半导体领域拥有600台以上出货实绩的有磁场ICP(ISM)高密度等离子源、/p>
高生产性(比以前提?40%)、/p>
为防止RF投入窗的污染搭载了爱发科星型电极、/p>
彻底贯彻Depo对策,实现了维护便利、长期稳定、高信赖性的硬件、/p>
拥有丰富的工艺应用的干法刻蚀技术(GaN蓝宝石、各种metal、ITO、SiC、AlN、ZnO?元系化合物半导体)、/p>
丰富的可选机能、/p>
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