半导体行业专用仪?/p>
ULHITETM NE-7800H
国产半导体行业专用仪?/p>
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产品特 / Product characteristics
有磁场ICP(ISM)方?可产生低圧,高密度plasma、为不挥发性材料加工的专用设备、/p>
可提供对应从常温到高温(400ºC)的层积膜整体刻蚀、硬掩膜去除的刻蚀解决方案、/p>
通过从腔体到排气line、DRP为止的均匀加热来防止沉积物、/p>
该设备采用可降低养护清洗并抑制partical产生的构造和材料及加热机构,是在不挥发性材料的刻蚀方面拥有丰富经验的量产装置、/p>
实现了长期的再现性、安定?/p>
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