半导体行业专用仪?/p>
ICP-400
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看了ICP电感耦合等离子体刻蚀机的用户又看亅/p>
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产品概述
ICP刻蚀是一种效率更高、功能更强大的先进加工技术，旨在实现高刻蚀率、高选择性和低损伤的刻蚀加工；由于等离子体密度更高，且保持在低压状态，因此还能具备出色的剖面刻蚀控制能力，可实现大深宽比和特殊形貌的刻蚀：br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/> 偏压电极提供了可单独控制的直流偏压，用以控制离子能量，因此可实现垂直于样片表面向下的高度各向异性刻蚀，从而获得符合特定工艺要求的出色结果、br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/>产品优势９/strong>
1、真空度高，可以达到10^(-5)Pa：br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/> 2、刻蚀均匀性高?英寸样品可达到?%以内：br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/> 3、具有手动和自动两种功能：br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/> 4、具有远程控制功能；
5、售后服务好，保证客户高效使用设备、/p>
技术参?/strong>
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