半导体行业专用仪?/p>
100mm
国产半导体行业专用仪?/p>
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产品描述９/strong>
本系统为手套箱和真空镀膜机集成在一起的设备，适合哪些对水氧敏感的材料研究，在钙钛矿电池，燃料敏化电池，超导，核工业等领域有广泛应用、br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/>产品优势９/strong>
1.手套箱可集成磁控溅射镀膜机：br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/> 2.手套箱可集成电子束蒸发镀膜机：br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/> 3.手套箱可集成热阻蒸发镀膜机：br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/> 4.手套箱可集成ALD镀膜机：br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/> 5.结构优化，操作方便；
6.真空度可达到5*10-6Pa：br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box; text-rendering: geometricprecision; -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); color: rgb(102, 110, 128); font-family: 微软雅黑; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); -webkit-font-smoothing: antialiased !important;"/> 7.样品台加热水冷可选；
8.其他结构可定制、/p>
技术参?/strong>
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