12 英寸硅单晶生长炉
报价9span>面议
品牌9/td> 芯晖装备
产地9/td> 浙江
关注度: 342
型号9/td> 12 英寸硅单晶生长炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>其他

温控精度9span>±2.0

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产品介绍

技术参?/h4>

项目

参数

单位

XINHUI

晶棒长度

· 2100

mm

2100

晶棒直径

· 308

mm

308

碳含野/span>

· < 0.30

ppma

0.10

晶体

· COP 26nm (no pattern)

%

>85



体金屝br style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box;"/>

· Bulk Metal Cu

atom/cm3

1E11

· Bulk Metal Ni

atom/cm3

1E10

· Bulk Metal Fe

atom/cm3

Ave 2E9;Max 1E10

提拉轴与坩埚轴对中偏?/span>

· 多次开合操作后

mm

± 1

· 承载?-400kg 范围内变匕/span>

mm

± 1

液面位置跟踪控制精度

-

mm

±0.2

晶体直径控制精度

-

mm

±2.0

投料量(含二次加料)

-

KG

400


问商宵/div>
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工商信息
企业名称

浙江芯晖装备技术有限公号/p>

企业类型

信用代码

91330481MA2BA0DU3B

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

留言咨询

留言类型

需求简?/p>

联系信息

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单位名称

电子邮箱

手机叶/p>

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