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晶圆隐裂外观检测设�?ADS)

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品牌９�/td>	芯晖装备
产地９�/td>	浙江
关注度：	335
型号９�/td>	晶圆隐裂外观检测设�?ADS)

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产品介绍

产品型号	晶圆隐裂外观检测设�?ADS
应用场景	成型、抛先�/span>
检测缺陶�/span>	隐裂、崩边、划伤、线痕、化学脏池�/span>
检测精�?/span>	隐裂�?0μm、正反面�?0um：�/span>
产能	185 WPH@300mm
产品特点	隐裂检、高产能、低过检、ADC
晶圆种类	Ф6″、�?″、�?2″（尺寸可定制）

适用于成型、抛光工艺段，应用明场及红外检测原理进行无图形晶圆的正反面及内部无法肉眼观测的隐裂缺陷检测，具备崩边、划伤、线痕、化学脏污、隐裂等微小缺陷的检出能劚�/p>

问商宵�/div>

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工商信息

企业名称

浙江芯晖装备技术有限公号�/p>

企业类型

信用代码

91330481MA2BA0DU3B

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