欧洲碳化硅晶体生产商：EEMCO

中国粉体网讯EEMCO�?020年底成立，隶属于EBNER集团旗下的先进材料业务部门、�br/>

EEMCO专注于利用其专有的物理气相传输技术，在专用炉中研发并生产高品质的200毫米碳化硅晶体。其充分利用EBNER在炉体设计及晶体生长技术方面的丰富经验，不断改进和完善其制造工艺。作为欧洲首家采用挪威水力发电作为能源、实现零排放的碳化硅生产基地，其致力于打造更绿色的未来、�/p>

EEMCO的垂直整合模式确保了SiC晶体的卓越品质。其高品质SiC粉末由子公司SICREATE负责采购与回收。借助EBNER在炉子制造领�?5年以上的丰富经验，设计并制造了专用的SiC生长炉。这些炉子采用了数字孪生技术及工业4.0理念，可实现实时工艺优化，并能与客户进行安全的数据共享、�/p>

从粉末采购到晶圆生产的这种垂直整合模式，再加上与欧洲供应商及研发机构的合作伙伴关系，使EEMCO能够高效推进缺陷控制技术的发展，并实现晶体尺寸�?00毫米以上的大规模扩展、�/p>

利用X射线拓扑技术进行位错分布分枏�/strong>

EEMCO使用瑞加库公司的XRTmicron设备进行详细的X射线断层扫描分析，采用CuKα及MoKα波段，并通过(0008)衍射峰来识别并量化螺纹形位错与基面位错。这一方法能够精确检测出这些位错的数量，从而有效降低缺陷密度，进而提升器件的性能、�/p>

用于表面及尺寸控制的高精度计量技�?/strong>

Sentronics工具使EEMCO能够实现极高的表面精度及尺寸精确度。白光干涉测量技术可精确检测微至埃级别的表面粗糙度，这对实现最佳外延生长效果至关重要。而光谱相干性检测功能则能确保对材料变形、翘曲情况及厚度的精确控制、�/p>

利用KOH蚀刻技术与人工智能实现自动缺陷检浊�/strong>

EEMCO的工艺包括使用KOH进行蚀刻，随后通过奥林巴斯光学显微镜及自主研发的人工神经网络算法进行自动分析。该技术能够精确地计数并分类螺纹位错与BPDs，从而为每块碳化硅锭及晶圆提供稳定可靠的质量保障、�/p>

通过模拟优化实现的晶体生长，从而获得更优异的材料性能

EEMCO 采用先进的数据驱动型及基于物理原理的仿真技术，包括COMSOL软件及定制的机器学习模型，来优化碳化硅晶体的生长过程。这一技术使EEMCO能够精确调整生长参数及加热区域的几何结构，从而有效降低应力、减少缺陷，最终实现始终如一的高质量材料产出、�/p>

资料来源９�/strong>EEMCO官网

（中国粉体网编辑整理/平安（�/p>

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