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Nikon尼康二手i-line光刻机NSR 2205 i12D
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尼康的这款i-line光刻机NSR 2205i12D?***的光刻系统之一。分辨率?50 nm，曝光光源i-line?65nm波长），缩小?:5，曝光场22mm*22mm?7.9(H)*25.2(V)mm(6-inch reticle), 20.0*20.4mm(5-inch reticle), 对准精度 (EGA,|M|+3σ)?5nm。NIKON NSR 2205i12D是步进器和扫描仪系统。NSR 2205i12D可用?英寸晶圆尺寸、/p>


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