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TOPCON拓普康芯片外观检测设备Vi4202
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TOPCON拓普康芯片外观检测设备Vi4202可以全自动检查在晶片上图案化的芯片和在扩展前切割的晶片（表面朝上/背面朝上）中的微小异物和缺陷，并以芯片为单位确定合格与否、/span>

环境条件９/span>

温度范围?0~27℃；

湿度范围?0%±20%以内：/span>

环境洁净度：1000级；

安装底板每个轴振幅：；/span>64μm：/span>

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