现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100、�/span>

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪，可以获得高稳定的束流、�/span>

通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220�? kV条件下分辨率提高�?.7 nm，Regulus8100的分辨率提高�?.8 nm、�/span>

此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去�?00万倍提升到200万倍、�/span>

Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器�?*性能、�/span>

设备特点

沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪

采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析�?*性能

(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

采用污染小、高真空样品仒�/span>

运用能量过滤�?选配)，可观察到多种成分对比度

设备规格

项目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次电子分辨玆�/span>			0.7 nm （加速电�?5 kV（�/span> 0.8 nm （着陆电�? kV（�/span>*3	0.6 nm（加速电� 15 kV（�/span> 0.7 nm（着陆电� 1 kV（�/span>*3
着陆电厊�/span>			0.1�? kV	0.01�?0 kV
放大倍率			20�?,000,000倌�/span>*4	20�?,000,000倌�/span>*4
样品�?/span>	样品台控刵�/span>		3轴马达台（可�?轴马达台（�/span>	5轴马达驱�?/span>
	移动范围	X	0�?0 mm	0�?0 mm	0�?10 mm	0�?10 mm
		Y	0�?0 mm	0�?0 mm	0�?10 mm	0�?0 mm
		R	360°
		T	-5�?0°
		Z	1.5�?0 mm		1.5�?0 mm
	再现�?/span>		-	-	-	±0.5 µm以下含�?.5 µm