SEMVision G2 的检测组装和处理使微小和浅缺陷的高质量地形图像成为可能。高动态范围检测、背散射电子收集和能量过滤可实现高纵横比成像、�/span>

基本信息９�/span>

型号：AMAT SEMVision G2 +

描述：缺陷审查系绞�/span>

晶圆尺寸�?00mm

序列号：多个系统可用

保修：按原样或按客户规格翻新

参数规格９�/span>

1 KeV 时的分辨率：3 nm

焦点�?焦点偏移�?0% 的缺陷，Delta Z < 3 μms

自动缺陷偏移/XY 图：95% 的缺� Delta X < 1.5 μm � Delta Y < 1.5 μm

EDX 分辨率：4nm

晶圆产量�?2 晶圆 / 小时

缺陷吞吐量：>1000 个缺�?小时

正面清洁度：0.013 PWP / cm2 > 0.2 μm 处的尺寸

基本配置９�/span>

� ULPA 过滤器的 FFU

扫描电镜� G2

EDX 柰�/span>

45 度立柱倾斜

包括晶圆旋转选项

载物台晶圆支� 3 PIN

对准器光学显微镜 X5、X20、X100

晶圆处理９�/span>

装载机：� RFID � AMAT ADO

晶圆尺寸�?00mm

ETU 300mm

国际电联 300 毫米

软件信息９�/span>

软件版本（WS、IP/ODC SW、MEC、WHC）：v5.1.500 WorkStation SGI FULE

软件版本（EDX）：VTG_5.0.107

系统性能９�/span>

Pal (On the OTW, cassette / Slot 1: Delta X= 500 μm; Delta Y= 500 μm

ITU Repeatability: Delta X and Delta Y < 20 μm

Stage accuracy: Delta X and Delta Y < 1.5 μm

MTR: Delta X= 50; Delta Y= 30 μm

其他设施信息９�/span>

**额定负载电流�? A

满载电流�?0A

中断电流�?0,000 安培 IC

电源电压�?-120 VAC�?-Ph�? � 208 V�?-Ph�? 线，50/60 Hz