具备化合物晶圆和蓝宝石晶圆内应力分布定量测量及缺陷定位筛查的功能

产品编号

SV200, SV300

所属分籺�/p>

半导体制造量检测产品方桇�/p>

晶圆内应力检测仪（SV系列（�/p>

Strain Viewer 技术规栻�/strong>

产品型号	SV200	SV300
样品测量口径	兼容2-8英寸晶圆 (200*200mm) 可订制化样品载台	兼容2-12英寸晶圆 (300*300mm) 可订制化样品载台
应力测量输出内容	相位延迟（°）及光学延迟（nm）归一化延迟（nm/mm）综合应力（MPa）及方位觑�/td>
测量光源	630nm LED光源 (可选配其它光源)
尺寸量测横向分辨玆�/td>	25μm
应力测量范围	0~150nm光学延迟
方位角测量范図�/td>	0-180 °
测量重复�?/td>	0.5nm光学延迟�?.5 °方位觑�/td>
测量准确�?/td>	±1nm光学延迟, ±1.5 °方位觑�/td>
应力图像解析�?/td>	1600 万像� （@6英寸晶圆（�/td>	3400 万像� （@8英寸晶圆� 7700 万像� （@12英寸晶圆（�/td>
单次测量时间	典型<35秒（@6英寸晶圆（�/td>	<50秒（@8英寸晶圆� <1.5分钟（@12英寸晶圆（�/td>
样品载台	大尺寸电动XY位移台： 250*350mm 支持自动拼接	大尺寸电动XY位移台： 320*700mm 支持自动拼接
微管缺陷计数模块	可选配
设备尺寸	一体式机柜�?70mm* 950mm* 1800mm 可加装晶圆自动传片系绞�/td>	一体式机柜�?050mm* 1230mm* 1800mm 可加装晶圆自动传片系绞�/td>

瑞霏光电内应力检测仪将晶圆全口径内应力数值、方位角等分析整合进入一键测量，确保我们的客户能够快速确认工艺和生产管控、�/span>