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LFGS微波產生?/strong> |
LFGS 產生器是用於半導體生產和一般電漿處理的多功能微波電源,這種變頻電源採用了一種半橋、D 類型放大器理念,擁有一種氣冷式精簡型的設計,可安裝?9英吋機架上。典型的應用包括濺射、反應式離子蝕刻、電漿沉積、聚合以及表面處理、/td> |
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