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产品详情
USHIO投影式全自动光刻设备
产品简今/div>
UX-4系列全自动投影式光刻设备主要运用于大尺寸的LED芯片生产和研发。同时又可以运用于半导体MEMS芯片的新品开发和大批量生产、/p>
特点９/p>
***限度的提高生产良率。（焦点深度可达50um（/p>
*光刻板和Wafer非接触，光罩板可以反复利用无需对光罩板进行清洗和更换、/p>
***可对应到8英寸芯片的生产，1:1一次性曝光、/p>
*设备利用率可?7%以上
*真正意义上的全自动，光罩板无需人工装载、/p>
*产品生产切换简易、/p>
*焦点深度可达50um（可有效对芯片应翘曲严重和厚胶工艺）
应用９/strong>
*LED及半导体MEMS芯片的研发和生产、/p>
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