仪器简介：

应用�

◆蚀�?半导�?砷化镓等

◆蚀�?平板显示

◆蚀�?微机电系�

◆化学气相沉�

◆去光阻

◆化学机械研�?/p>

技术参数：

等离子体处理中的端点检测和诊断技术。将光谱转化为信号并通过自带软件进行绘制和分析，从而了解机台的工作状况�

可以将SD1024系列光谱仪集成到系统中，或配置为使用时独立于过程的控制器，这将有助于诊断应用程序。检测器需要Verity的SpectraView软件应用程序，通过一台独立的应用计算机或Verity的MTC1000多任务计算机进行操作。运行SpectraView软件的应用计算机通过USB或以太网通信链路管理光谱仪。这个应用计算机接收来自系统主控计算机或处理模块的控制命�?配方、启动、停�?，并根据接口的定义返回端点及其他事件结果、�/p>

主要特点９�/strong>

◆等离子诊断

◆缺陷检�

�?00-800纳米

◆制程监�

◆符合RoHS要求

◆科研级CCD

◆体积小

◆软件功能强�

◆可独立操作