仪器简介：

应用�

� 薄膜厚度、n值及k值的测量，可应用于任何薄膜生长或者镀膜工艺的监控、�/p>

技术参数：

Sopra公司是世界上*知名的椭偏仪设备供应商，其高精度的椭偏仪在半导体、化合物半导体（GaAs/SiC）、LCD及MEMS领域有着非常广泛的应用。目前，全世界有超过500台的Sopra椭偏仪应用于各个行业、�/p>

主要特点９�/strong>

� 高精度的薄膜测量（膜厚、n值、k值）�

� 全世�?*家宽光谱椭偏仪技术的***�

� VLSI及其他的测试标准均由Sopra标第�

� 强扩展性：Fast UV VIS CCD 模式，高分辨率DUV-VIS模式及FTIR/4PP功能、�/p>