产品特点９�/span>

?自由搭配的光纤架构，可安装于生产线上、半导体晶圆研磨设备或真空镀膜设备中、�/span>

?远端同步控制、高速多点同步测量等、�/span>

?丰富多样的光学系统套件与应用软件，提供特殊环境下*理想的膜厚解决方案、�/span>

产品架构９�/span>

?半导体晶圆面内分市�/span>测量

?玻璃基板面内分布测量

?即时性量浊�/span>

?输送方向的定点品质管理

?对应真空环境之设夆�/span>

?即时�?/span>测量

?输送方向的全面品质管理