产品特点９/span>
?薄膜到厚膜的测量范围、UV～NIR光谱分析、/span>
?高性能的低价光学薄膜测量仪、/span>
?藉由**反射率光谱分析膜厚、/span>
?完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能、/span>
?无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手、/span>
?非线?小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)、/span>
产品规格９/span>
| 型号 | FE-300V | FE-300UV | FE-300NIR | |
| 对应膜厚 | 标准垊/span> | 薄膜垊/span> | 厚膜垊/span> | 超厚膜型 |
| 样品尺寸 | **8寸晶圆（厚度5mm（/span> | |||
| 膜厚范围 | 100nm~40m | 10nm~20m | 3m~30m | 15m~1.5mm |
| 波长范围 | 450nm~780nm | 300nm~800nm | 900nm~1600nm | 1470nm~1600nm |
| 膜厚精度 | 0.2nm以内 | 0.2nm以内 | - | - |
| 重复再现?2) | 0.1nm以内 | 0.1nm以内 | - | - |
| 测量时间 | 0.1s｝/span>10s以内 | |||
| 测量口径 | ?/span>3mm | |||
| 光源 | 卤素?/span> | UV用D2?/span> | 卤素?/span> | 卤素?/span> |
| 通讯界面 | USB | |||
| 尺寸重量 | 280＇/span>W（/span>570＇/span>D（/span>350＇/span>H（/span>mm，约24kg | |||
| 软件功能 | ||||
| 标准功能 | 波峰波谷解析、FFT解析?适化法解析?小二乘法解析 | |||
| 选配功能 | 材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析 | |||
应用范围９/span>
?半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2?
?光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)
应用范例９/span>
?PET基板上的DLC膛/span>
?Si基板上的SiNx
