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50多项国际四探针测试仪领域?*,保证业内技?*!
1.业界**重复?/span>,重复?/span> 0.02% (静态或者标准电?;
2.扫描速度*快的四探针电阻率测试?一分钟49个测量点;
3.*小边缘修止即片子边?.5mm以内区域都能测量;
CDE的使命是开发和制造生?/span>髗/span>价值的,高性能,成本低为半导体制计量产品及相关行业
CDE已制造并交付了超迆/span>1000奖/span>resmap电阻玆/span>测试系统+/span>大约24%用于300mm测量?近,该公司已交付的太阳能电池的开发和生产支持多个单位、/span>
CDE是位于硅谷的心脏地带+/span>提供世界范围内的销售和服务代表网络支持、/span>
特点简?/span>:CDE ResMap的特点如简述如上/span>: *高速稳定及**自动决定范围量测与传?/span>+/span>通过?/span>*数字测量方式及每点高辽span>4000笔数据搜雅/span>+/span>表现良好重复性及再现* Windows操作接口及软件操作简*新制程表现佳(铜制程低电阻玆/span>1.67m-cm叉/span>Implant高电阺/span>2K/■/span>以上+/span>皆可达成高精确度及重复?/span>) *体积導/span>+/span>占无尘室面积*校正简協/span>+/span>且校正周期长*可配合客户需汁/span>+/span>增强功能与适用* 300mm机种可以裄/span>2~4个量测头+/span>并且可以Recipe设定更换.
CDE提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。快速,精确与软件控制下针、软件功能可**化下针压力,即使薄片量测也不易破裂。自动清钇/span>(Probe Conditioning);动作,双针头切换。太阳能使用可支持自?/span>Loader+/span>300mm机台可使?/span>Front End?多扩兄/span>3个量测单元,支持Semi标准接口、/span>CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控,超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的、/span>
测量尺寸:晶圆尺寸:2-8寸(273系列可测量大臲span>12寸晶圆,575系列可测量大臲/span>450mm18寸晶圆)世界首款!
方形片:大至156mm X 156mm戕/span>125mm X 125mm
测量范围0.001欧姆/平方 500000欧姆/平方(标准型(/span>
测量方式 电脑程序自动测量,或不连电脑单测量主机也可实现测量和数据显示,此时非常适合测试不规整样片单点测量,适合实际研究需要、/span>
测量的数?/span> 方块电阻/电阻玆/span>/薄膜厚度,根据具体应用可以设置不同测量程序、/span>
测量的点?/span> 程序编排任意测量点位置及测量点数量,对应不同客户不同测量要求任意编程测量点位置与数量、/span>
测量的精确度9span><0.1%(标准模阻):/span>
测量重复?/span>9/span>重复?/span> 0.02% (静态或者标准电?
测量速度9/span>>49?分钟:/span>
测量数据处理:根据需要显礹span>2D?D数值图,或按要求统计并输出Excel格式文件:/span>
边缘修正:具有边缘修正功能,即片子边缗/span>1.5mm以内区域都能测量:/span>
软件控制下针:快速,精确与软件控制下针、软件功能可**化下针压力,即使薄片量测也不易破裂。自动清钇span>(Probe Conditioning);动作,双针头切换、/span>
探针压力可调范围9/span>软件控制+/span>90-200克之间可调;
可供选择的探头类垊/span>:根据测试不同工艺要求有A B,K M N等相关型号探头选择,另外还可提供专门为客户定制的应用特殊要求的探针.
太阳能使用可支持自动Loader+/span>300mm机台可使?/span>Front End?多扩兄/span>3个量测单元,支持Semi标准接口、/span>
设备应用9/span>
IC FAB/FP dispaly/LED:扩散,离子注入等掺杂工艺监控调试,薄膜电阻率或厚度测量等工序,妁/span>
AppleADL Engineering Inc.ADL Engineering Inc.Air ProductsAixtron Inc.Amkor
Amkor Technology Singapore Holding Pte. LtdApplied Materials Inc.ASE
ASM Microchemistry Ltd.ATMIAtotechAvantor Performance Materials
Beijing NMC Co. Ltd.ChipBondChipMOSClarkson University
Fujimi CorporationISMI Giraffe Microelectronics Co. Ltd. (Qinghua University)
Hionix Hynix IBM Inter molecular
JiangSu Lam Research Lam Research SEZ/Aus
Leading Precision Inc Maxim Integrated Products
MEMC Northrop Grumman PacTech
Powertech Technology Inc. Siltronic Samsung Wafer Pte. Ltd.
Siltronic Spansion SPIL SUMCO TEL NEXX Inc.TSMC University of California
Intel+/span>IBM+/span>Motorola+/span>TSMC+/span>CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,PoscoHuls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,,Osram?..
中国购买用户:
科研客户:清华大?/span>北京大学 上海交通大 天津大学浙江大学 中山大学 浙江师范大学 ?复旦大学 北京师范大学 河北大学。。。。。、/span>
Resmap178
Resmap178型四点探针测试仪是专门为光伏电池生产企业设计的一款产品。提供可靠,准确和重复性好的四点探针测试技术、/span>Resmap178已经在太阳能电池衬底和导电薄膜上证明了其测试电阻率的可靠能力、/span>
提供NIST标准??
产品特点:操作简单、快速精?/p>
电阻测量范围? m/ - 5 M/
典型应用:非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等
美国CDE**技? 可针对材?不同材料、软硬薄膜或离子植入深或浅等条件,对下针状况**化。而此功能是可由软见操作,可有0.01mm 的分辨率,而非麻烦的硬件调整、/p>
美国CDE**技? 可针对材?不同材料、软硬薄膜或离子植入深或浅等条件,对下针状况**化。而此功能是可由软见操作,可有0.01mm 的分辨率,而非麻烦的硬件调整、/p>
测试性能指标9/span>
探针材料 WC
探头寿命> 500W欠/p>
测量9/p>
电阻率面扫描2D?D图:
感谢以下客户购买美国美国CDE四探针测试仪
作为半导体行业四探针测试仪测试标准之一,购买美国CDE 四探针测试仪的单位非常多、/p>
*近购买用戶/p>
科研客户:清华大学,天津大学,浙江大 中山大学 浙江师范大学 复旦大学 北京师范大学 河北大学 。。。。。、/p>
企业客户:上海超日太阳能 卡姆丹克太阳 南玻光伏 荣马新能 山东润峰电力 江苏腾晖电力 晶澳太阳 海润光伏 常州比太 苏州阿特 西安隆基 高佳太阳 江西旭阳雷迪 无锡尚德 武汉珈伟光伏 苏州中导光电 常州天合 。。。。。、/p>
不能一一列举敬请谅解