上海瞬渺光电技术有限公号/div>
首页 > 产品中心 > 半导体行业专用仪 > 椭圆偏光膜厚测量仪(手动(/div>
公司品牌
品牌传达企业理念
友情链接
产品简今/div>

产品特点9/span>

?400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱、/span>

?自动变更反射测量角度,可得到更详细的薄膜解析数据、/span>

?采用正弦杆自动驱动方式,展现测量角度变更时优异的移动精度、/span>

?搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能、/span>

?可测量晶圆与金属表面的光学常?n:折射率、k:消光系数)、/span>

产品规格9/span>

样品对应尺寸 100100mm
测量方式 偏光片元件回转方弎/span>
入射/反射角度范围 45?0o
入射/反射角度驱动方式 反射角度可自动变曳/span>
波长测量范围 300?00nm
分光元件 Poly-chrometer
尺寸 650(H(/span>400'/span>D(/span>560'/span>W(/span>mm
重量 ?0kg
  • 推荐产品
  • 供应产品
  • 产品分类