产品特点９/span>
?非接触式、不破坏样品的光干涉式膜厚计、/span>
?高精度、高再现性测量紫外到近红外波长反射率光谱，分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率，k消光系数）、/span>
?宽阔的波长测量范围。（190nm-1100nm（/span>
?薄膜到厚膜的膜厚测量范围、/span>＇/span>1nm~250m（/span>
?对应显微镜下的微距测量口径、/span>
产品规格９/span>
标准垊/span> |
厚膜专用垊/span> |
||
| 膜存测量范围 | 1nm~40m |
0.8m~250m |
|
波长测量范围 |
190~1100nm |
750~850nm |
|
| 感光元件 | PDA 512ch（电子制冷） |
CCD 512ch（电子制冷） |
PDA 512ch（电子制冷） |
| 光源规格 | D2（紫外线）?2（可见光）、D2+12（紫?可见光） |
12（可见光（/span> |
|
| 电源规格 | AC 100V10V 750VA（自动样品台规格（/span> |
||
| 尺寸 | 4810（H?#215;770（D?#215;714（W）mm（自动样品台规格之主体部分） |
||
| 重量 | ?6kg（自动样品台规格之主体部分） |
||
应用范围９/span>
FPD
-LCD、TFT、OLED（有机EL（/span>
半导体、复合半导体
-矽半导体、半导体镭射、强诱电、介电常数材斘/span>
资料储存
-DVD、磁头薄膜、磁性材斘/span>
光学材料
-滤光片、抗反射膛/span>
平面显示?/span>
-液晶显示器、膜膜电晶体、OLED
薄膜
-AR膛/span>
其他
-建筑用材斘/span>
测量范围９/span>
玻璃上的二氧化钛膜厚、膜质分枏/span>
