| 品牌 | 日本KOSAKA | 型号 | ET200 |
| 测量范围 | Max. 600m | 测量精度 | 0.001 |
| 电源电压 | AC100V10%＋/span> | 用逓/span> | 测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨捞/span> |
KOSAKA LAB ET 200
微细形状测定机（探针接触弎strong>台阶?/strong>（/span>
株式会社小坂研究所＇/span>KOSAKA）是亍/span>1950年创立的公司，也是日?*家發表光孷/span>
幹槓桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商＋span>主要有測宙/span>/自動/流體丈/span>
大部門。其中測定部門?*代表性單位且在日本精密測定業佔有一席無法被取代的地位、/span>
设备特点９/span>
KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包
括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘?/span>MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器
件、薄膛/span>/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精
度表面形貌分析应用、/span>ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨捞/span>
度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数、/span>
ET 200配备了各种型号探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD
原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域、/span>
规格
一、測定工件：
1.**工件尺寸?#966;160mm
2.**工件厙/span>?９/span>50mm
3.**工件重量９/span>2kg
二、檢出器＇/span>pick up）：
1. Z方向測定範圍９/span>Max. 600m
2. Z方向分解能：0.1nm
3.測定?９/span>min.1mgf，max.50mg
4.觸針半徑９/span>2m
5.驅動方式：直動式
6.再現性：1= 1nm
三?/span>X軷/span>(基準軷/span>)９/span>
1.移动野/span>(**測長)９/span>100mm
2.移動的真盳/span>?９/span>0.2m/100mm
3.移動＋span>測定逞/span>?９/span>0.02 ~ 10mm/s
4.線性尺(linar scale)：分解能0.1m
四?/span>Z軸：
1.移动量：50mm
2.移動速度９/span>max.2mm/S
3.檢出器自動停止機胼/span>
4.位置決定分解能：0.2m
五、工件台９/span>
1.工件台尺寸：160mm
2.機械手動倾斜９/span>1mm/150mm
?、工件觀察：max.110倌/span>(可選購其它高倌/span>?CCD)
七、床台：材質為花崗岩矲/span>
八、防振台(選購)９/span>?地型或桌上型
九、電源：AC100V10%＋/span>
50/60HZ 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：
W494D458H610mm 120kg
(?含防震台)
KOSAKA LAB ET 200台阶?/strong>设备特点KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄?化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）****接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数
ET 200配备了各种型?***，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察?***工作时的状态，更方便准确的定位测试区域
规格一、測定工件：
1. **工件尺寸?#966;160mm
2. **工件厚度?0mm
3. **工件重量?kg
二、檢出器（pick up）：
1. Z方向測定範圍：Max. 600m
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 測定力：min.1mgf，max.50mg
4. 觸針半徑? m
5. 驅動方式：直動式
6. 再現性：1= 1nm
三、X (基準?
1. 移动?**測長)?00mm
2. 移動的真直度?.2m/100mm
3. 移動，測定速度?.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1m
四、Z軸：
1. 移动量：50mm
2. 移動速度：max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機
4. 位置決定分解能：0.2m
五、工件台
1. 工件台尺寸：160mm
2. 機械手動倾斜 1mm/150mm
六、工件觀察：max.110 ?可選購其它高倍率CCD)
七、床台：材質為花崗岩
八、防振台(選購)：落地型或桌上型
九、電源：AC100V10% 50/60HZ 300VA
十、本體外觀尺寸及重量： W494D458H610mm 120kg (不含防震?
