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2平/div> 称:
上海瞬渺光电技术有限公号/b>
证:工商信息已核宝br /> 访问量:67823
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在线式HIT用PECVD
In-Line PECVD system for HIT junctions
用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系绞/p>
Throughput: 18 wafers (6?/cycle
产率?8?吋硅?循环