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 高真空磁控溅射薄膜沉积系�?-PVD400 高真空磁控溅射薄膜沉积系�?-PVD500 SMART磁控溅射薄膜沉积系统高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系�?-PLD300 高真空有机及热阻蒸发薄膜沉积系统--DZ350 高真空电子束蒸发薄膜沉积系统--EB900 高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积及热丝CVD系统---PECVD+热丝CVD400 高真空硬碳膜制备系统--FHL600 金属有机源气相沉积系�?-MOCVD

大型高真空退火炉小型超高真空退火炉高真空钎焊炉设备--QHL550

罗茨干式真空泵GH-80A 螺杆干式真空泵JLG-1100A 碳化硅晶体生长炉



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