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1平/div> 称：
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公号/b>
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产品简今/div>
真空室结枃
立式钟罩上升盕/p>
真空室尺寷
φ600×H800mm
极限真空?
1.0E-5Pa
沉积溏
旟/p>
样品尺寸，温?
设计待定
占地面积（长x宽x高）:
?米x2米x2籲/p>
电控描述:
电控系统可实现系统供电，真空度采集，加热电源功率控制，水冷系统报警灯等功胼/p>
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