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1平/div> 称：
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公号/b>
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产品简今/div>
真空室结枃
方形前开?/p>
真空室尺寷
φ400x400x400mm
极限真空?
?.6E-5Pa
沉积溏
永磁?套，φ2英寸
样品尺寸，温?
φ4英寸?片，**800ℂ/p>
占地面积（长x宽x高）:
?.8米?.7米?籲/p>
电控描述:
全自?/p>
工艺:
片内膜厚均匀性：≤?%
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