真空室结枃�

圆筒形上升盖

真空室尺寷�

φ600×500mm

极限真空�?

�?.0E-4Pa

沉积溏�

样品尺寸，温�?

φ240mm�?片，水冷即�/p>

占地面积（长x宽x高）:

�?米�?.1米x2籲�/p>

电控描述:

全自�?/p>

工艺:

提供标准镀膜工艹�/p>

特色参数 :

1路工作气路，2路备用气�?/p>

产品概述９�/span>
本系统为单室立式结构的高真空镀镀膜设备，可用于开发单层膜-类金刚石膜等。系统主要由镀膜室、靶电极、射频电源、样品转台、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统、加热控温系统、水冷却系统等组成、�/span>

设备用途：
可用于开发类金刚石膜筈�/span>