碳化硅切割润滑剂的信息介绌�/span>

碳化硅切割润滑剂是可生物降解的非腐蚀性水溶液，完全可溶于 DI(去离�?水。在晶锭、晶圆切割过程中，可减少静电积聚、散热、防止电化学腐蚀和增强润滑，从而有效分散锯屑并提高产品质量。配备液体分配器还可以精确控制润滑剂仅在切割过程中使用、�/span>

碳化硅切割润滑剂的特点优劾�/span>

降低表面张力	优化热传寻�/span>	锯屑分散	减少静电
作为去离�?DI)水的添加剂使用，可将水表面张力从 70 dynes/cm 降低�?8.0 dynes/cm。使冷却水能够渗透到切割缝隙中�?表面张力越高，冷却水渗透到切割缝隙中的难度就越�?、�/span>	减接触区摩擦与热量，用润滑剂水冷却，可有效地清除工作边缘的碎�?锯屑)。延长刀片寿命、�/span>	将切割过程中产生的碎�?锯屑)悬浮于切割水溶液中，并有效分散碎屑，从而减少压实堆积，防止晶圆崩边和裂纹、�/span>	在不增加冷却 DI 水酸度的情况下降低静电放�?ESD)风险，从而防止晶圆表面污染，并提高焊盘完整性和芯片可靠性、�/span>

碳化硅切割润滑剂的工艺应�?/span>

金刚石线锯切割工艹�/span>

碳化硅切割润滑剂主要应用于金刚石线锯切割工艺，硅锭切割用 1:800 稀释比，控制晶体内部微裂纹。晶圆精密切割用 1:1200 稀释比，实� ±5μm 切割精度，切割后晶圆边缘粗糙� Ra�?.5μm。除碳化硅，还适用于蓝宝石、石英玻璃等硬脆材料切割�? 英寸蓝宝石晶圆加工边缘崩缺率� 4% 降至 1.2%。石英玻璃切割表面平整度提高 30%、�/span>

液体分配系统

碳化硅切割润滑剂分配系统，支持手动设置和高容量功能，由高品质泵和简易的切割锯集成。该系统可与切割锯同步运行，通过数字计量泵精确控制流量，将适量的切割润滑剂直接分配至DI进水软管，可同时支持1�?台切割锯。该系统与切割锯电子设备配合，精准控制润滑剂的使用，确保润滑剂仅在切割锯实际工作时才分配使用、�/span>