真空腔室尺寸：立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷； 真空腔室尺寸：�?00×H500mm� 基片台尺寸：Φ200mm� 衬底温度�?00~1100℃； 产品概述� 1.适用范围：适用于各单位实验室、高校实验室、教学等项目的科研、产品中试� 2.产品优点和特点：热丝金刚石设备采用热丝化学气相沉积技术，已应用于国内许多热丝生产线。该设备生产了大型片状多晶金刚石厚膜，取得了相当大的经济效益。热丝金刚石设备适用于工业生产、科研、教学和产品试验� 3.主要用逓�用于生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氮化硅和氧化硅薄膜。纳米金刚石薄膜和微晶金刚石薄膜沉积在切割工具、钻头、丝锥等表面。也可以制备硼金刚石电极、BBD电极和金刚石电极膜� 参数９�/span>