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腔体自动清洗功能
先进的热/冷盘模块
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兼容8英寸?2英寸晶片
可配*多四个涂胶腔?并配置腔体自清洗功能
每个涂胶腔体可配有两种光刻胶喷嘴
去边(EBR)喷? 预湿喷嘴, 正背面清洗喷嘳/p>
2?个热盘,2?个冷却盘??个HMDS模块

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