显影设备

应用领域

� 曝光后烘� (PEB)

� 显影

� 坚膜

主要优势

三种显影方式集于一佒�/p>

灵活的喷嘴扫描系绞�/p>

技术先进，使用便捷

精确的药液控刵�/p>

特性和规格

兼容8英寸�?2英寸晶片

可配�?多四个显影腔佒�/p>

双面工艺, 每个显影腔体内配�?�?套液体喷嘳�/p>

2�?个热盗�/p>

2�?个冷却盘