参考价栻/p>面议
型号
9BF-1M5L精密双面平面研磨? 9BF-1M5P精密双面平面抛光朹/span>品牌
苏州博宏溏/span>产地
江苏样本
暂无磨抛盘直径:
-主轴转速:
-单位能耗:
-装机功率(kw):
-成品细度9/p>-
工作原理9/p>其他
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一、主要用逓/strong>
本机主要通用于硅片、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨抛光、/p>
1、压力精密控制:PLC+PT+精密减压所实现压力开环控刵
3、精密传动系统:高精度小齿隙全齿轮传?
4、下盘支撑:高精度平面流体轴承支撐
5、销齿传动内外齿采用销齿传动,延长载体使用寿命维护便捷;
6、传动系统:三电机同步拖动,上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转,也可反?转速可任意设足,县有配方功胼/p>
二、技术参?/strong>
| 序号 | 项目 | 规格参数 | |
| 1 | 上下盘尺寷/td> | Φ640mm×Φ235mm×30mm(研磨) | |
| Φ640mm×Φ235mm×30mm(抛光) | |||
| 2 | 游星?/td> | 参数 | Z=114,DP12,ΰ20 |
| 数量 | 5?/td> | ||
| 3 | 驱动电机 | 4.0kW AC380V 50Hz 1460rpm(研磨) | |
| 5.5kW AC380V 50Hz 1460rpm(抛光) | |||
| 4 | 下盘转逞/td> | 0~60rpm | |
| 5 | 精度指标 | 上、下盘平面度 | ?.015mm |
| 下盘端跳 | ?.05mm | ||
| 6 | 加工范围 | **加工尺寸 | Φ150mm |
| *小加工厚?/td> | 0.15mm(?"片) | ||
| 整盘承载野/td> | 9×5=45片(2" 圆片(/td> | ||
| 7 | 水源 | 纯水或自来水 | |
| 8 | 电源 | 功率 | 5.0kW AC380V 50Hz (研磨) |
| 6.5kW AC380V 50Hz (抛光) | |||
| 线缆规格 | 三相五线刮.3×4mm²+2×2.5mm² | ||
| 9 | 气源 | 压力 | 压缩空气?.4-0.5Mpa |
| 接管口径 | 接口Φ10mm(外径) | ||
| 10 | 外形尺寸 | 宽×长×高:1040mm×1400mm×2360mm | |
| 11 | 重量 | ?200Kg | |
暂无数据
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