磁控溅射设备的主要用途：1.功能性薄膜：具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜；2.装饰领域：各种全反射膜及半透明膜等；3.微电子领域：在微电子领域作为一种非热式镀膜技术，主要应用在化学气相沉积

什么是钙钛矿钙钛矿（perovskite），这个有点拗口的名字取自俄罗斯矿物学家Perovski，作为光伏材料的钙钛矿，实际上和钙、钛、矿三个字都没太大关系，这是一类与钙钛矿（CaTiO3）晶体结构类

热丝CVD采用高温下的低压气相反应，碳氢化合物在高温下发生化学反应，生成膜先驱物，当样品温度合适时，这些膜先驱物在样品表面沉积形成金刚砂膜。低压化学气相沉积形成的膜层厚度及成分较为均匀，膜层致密。CV

过去几十年来，半导体制造由中国大陆、韩国和中国台湾三个地区主导，2021年这三个地区共计占全球市场的 87%。而今，随着地缘政治的转变，各国或地区都在寻求降低对单一供应链的依赖，努力发展自己的半导体产

什么是蒸发镀膜真空蒸发镀膜是指在真空条件下，通过蒸发源加热蒸发某种物质使其沉积在基板材料表面来获得薄膜的一种技术。被蒸发的物质被称为蒸镀材料。由于真空蒸发法或真空蒸镀法主要物理过程是通过加热蒸发材料而

在薄膜材料制备技术中，原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）是两种被广泛应用的核心技术。尽管二者均通过气相前驱体的化学反应实现薄膜生长，但在工艺机制、控制精度、反应条件及应用场景等方面存在本质差