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中微具有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO A7®可配置多?个反应腔，可以同时加?36?英寸晶片?6?英寸晶片，工艺能力还能延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制，这一设计可以实现优异的生产灵活性、/p>
可独立控制的反应腔运行模弎/p>
自主的实时监控系绞/p>
精准的参数控刵/p>
全自动化处理
符合半导体标准的软件控制系统
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