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中微具有自主知识产权的PRISMO UniMax® MOCVD设备可配置多?个反应腔,可同时加?08?英寸?0?英寸高性能氮化镓基蓝绿光Mini LED外延晶片，通过石墨盘的调整，可扩展至同时加?64?英寸?2?英寸外延晶片，其工艺能力还可延展到生?英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制，这一创新设计具备优异的生产灵活性。中微PRISMO UniMax® MOCVD设备配置了新颖的局部温度补偿加热系统，专为高性能Mini LED量产而设计，具备优异的产出波长均匀性及产出稳定性。此外，PRISMO UniMax® MOCVD设备配置?85mm大直径石墨托盘，极大地提高了设备产能，并有效地降低了Mini LED外延片的生产成本、/span>
自主的实时监控系绞/span>
精准的参数控刵/span>
自动化的控制与维护功胼/span>
符合半导体标准的软件控制系统
可独立控制的反应腔运行模弎/span>
新颖的局部温度调控加热系绞/span>
优异的LED波长均匀?/span>
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移动?/p>
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