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PRISMO UniMax® MOCVD设备

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品牌９�/td>	中微公司
产地９�/td>	上海
关注度：	271
型号９�/td>	PRISMO UniMax® MOCVD设备

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产品介绍

中微具有自主知识产权的PRISMO UniMax® MOCVD设备可配置多�?个反应腔,可同时加�?08�?英寸�?0�?英寸高性能氮化镓基蓝绿光Mini LED外延晶片，通过石墨盘的调整，可扩展至同时加�?64�?英寸�?2�?英寸外延晶片，其工艺能力还可延展到生�?英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制，这一创新设计具备优异的生产灵活性。中微PRISMO UniMax® MOCVD设备配置了新颖的局部温度补偿加热系统，专为高性能Mini LED量产而设计，具备优异的产出波长均匀性及产出稳定性。此外，PRISMO UniMax® MOCVD设备配置�?85mm大直径石墨托盘，极大地提高了设备产能，并有效地降低了Mini LED外延片的生产成本、�/span>

产品特点

自主的实时监控系绞�/span>

精准的参数控刵�/span>

自动化的控制与维护功胼�/span>

符合半导体标准的软件控制系统

竞争优势

可独立控制的反应腔运行模弎�/span>

新颖的局部温度调控加热系绞�/span>

优异的LED波长均匀�?/span>

问商宵�/div>

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PRISMO UniMax® MOCVD设备的使用方法？
PRISMO UniMax® MOCVD设备多少钱一台？
PRISMO UniMax® MOCVD设备使用的注意事顸�/li>
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工商信息

企业名称

中微半导体设备（上海）股份有限公号�/p>

企业类型

信用代码

913101157626272806

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