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Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备

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品牌９�/td>	中微公司
产地９�/td>	上海
关注度：	181
型号９�/td>	Primo SSC AD-RIE®

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产品介绍

Primo SSC AD-RIE®是中微于2013年推出的单反应台电介质刻蚀产品，在Primo AD-RIE®产品技术和Primo平台概念的基础上，通过在一个平台上集成六个单反应台以优化产能。除了可独立输运气体的单反应台腔体设计以外，为应�?x纳米以下特别是接触孔刻蚀等关键制程的挑战，该设备还具有以下特性：同步脉冲射频系统、可冷却聚焦环工艺组件和甚低压气体抽运系统等。Primo SSC AD-RIE有利于处理多层薄膜刻蚀的微负载问题、极端边缘形貌问题以及接触孔刻蚀的终端控制问题。Primo SSC AD-RIE已在主流客户16纳米芯片生产线上稳定量产、�/p>

产品特点

具有独立气体输运系统的单反应台腔体设讠�/p>

多区气体调节以及双区静电吸盘温度控制

高抽气率，大容量分子泴�/p>

双级同步脉冲射频系统（低频和高频（�/p>

可冷却聚焦环工艺组件，提升晶圆边缘性能

高上下电极面积比，以应用于高深宽比结构刻蚀

竞争优势

高电介质材料刻蚀速率，多手段刻蚀均匀度调芁�/p>

双级同步脉冲射频系统

先进气体抽运系统，以进一步扩大工艺窗叢�/p>

中高深宽比结构刻蚀的低成本解决方案

问商宵�/div>

Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备的工作原理介绍？
Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备的使用方法？
Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备多少钱一台？
Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备使用的注意事顸�/li>
Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备的说明书有吗＞�/li>
Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备的操作规程有吗？
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工商信息

企业名称

中微半导体设备（上海）股份有限公号�/p>

企业类型

信用代码

913101157626272806

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成立日期

注册资本

有效期限

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