Preforma Uniflex CW薄膜设备
报价9span>面议
品牌9/td> 中微公司
产地9/td> 上海
关注度: 48
型号9/td> Preforma Uniflex CW
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产品介绍

作为中微公司自主研发的产出效率高且性能优秀?2英寸CVD金属钨设备,Preforma Uniflex™CW可灵活配置多达五个双反应台的反应腔,每个反应腔皆能同时加工两片晶圆,在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时,实现较高的生产效率。Preforma Uniflex™CW配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案,自主设计优化的分气抽气系统和真空卡盘,具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性,对于弯曲度较大的晶圆,它也具备良好的工艺处理能力。并且其优异的阶梯覆盖率和填充能力,可以满足先进逻辑器件、DRAM?D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求、/span>

产品特点

双反应台及多达五个反应腔的系绞/span>

独立小巧的反应空闳/span>

高效灵活的工艺调节窗叢/span>

自主知识产权的优化混气方桇/span>

自主设计的优化气体分配的抽气系统

自主设计的优化真空卡盘的加热?/span>

竞争优势

高生产效率,低生产成本,低化学品消耖/span>

优秀的薄膜均一性和填充能力

优秀的工艺适应性和兼容?/span>

对弯曲度较大的晶圆也具有良好的工艺处理能劚/span>


问商宵/div>
  • Preforma Uniflex CW薄膜设备的工作原理介绍?
  • Preforma Uniflex CW薄膜设备的使用方法?
  • Preforma Uniflex CW薄膜设备多少钱一台?
  • Preforma Uniflex CW薄膜设备使用的注意事顸/li>
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中微半导体设备(上海)股份有限公司为您提供中微公司Preforma Uniflex CW薄膜设备,Preforma Uniflex CW薄膜设备产地为上海,属于半导体行业专用仪器,除了Preforma Uniflex CW薄膜设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供Primo TSV® 高性能、高产能的深硅刻蚀设备、Primo nanova®12英寸刻蚀设备、PRISMO UniMax® MOCVD设备
工商信息
企业名称

中微半导体设备(上海)股份有限公号/p>

企业类型

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