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PRISMO D-BLUE®MOCVD设备

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品牌９�/td>	中微公司
产地９�/td>	上海
关注度：	213
型号９�/td>	PRISMO D-BLUE®MOCVD设备

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产品介绍

中微具有自主知识产权的MOCVD设备可配置多�?个反应腔，可以同时加�?32�?英寸晶片�?6�?英寸晶片，工艺能力还能延展到生长6英寸�?英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制，这一设计可以实现优异的生产灵活性。PRISMO D-BLUE®是首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED和功率器件外延片生产的国产MOCVD设备、�/p>

PRISMO D-BLUE®

首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED外延片生产的国产MOCVD设备

产品特点

可独立控制的反应腔运行模弎�/p>

自主的实时监控系绞�/p>

精准的参数控刵�/p>

全自动化处理

符合半导体标准的软件控制系统

竞争优势

优异的工艺重复性，简化工艺调整需求，提高产品良率

19英寸大尺寸托盘极大地提高了设备单位产能，降低了生产成�?/p>

集成顶盖升降机构，简化设备维护，提高设备利用玆�/p>

符合SEMI S2安全标准，提升设备的安全性能

问商宵�/div>

PRISMO D-BLUE®MOCVD设备的工作原理介绍？
PRISMO D-BLUE®MOCVD设备的使用方法？
PRISMO D-BLUE®MOCVD设备多少钱一台？
PRISMO D-BLUE®MOCVD设备使用的注意事顸�/li>
PRISMO D-BLUE®MOCVD设备的说明书有吗＞�/li>
PRISMO D-BLUE®MOCVD设备的操作规程有吗？
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PRISMO D-BLUE®MOCVD设备包安装吗＞�/li>

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工商信息

企业名称

中微半导体设备（上海）股份有限公号�/p>

企业类型

信用代码

913101157626272806

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