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型号
PD-500/600电子束真空蒸镀设备品牌
普迪真空产地
湖北样本
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设备特点９/p>
★进口双导轨前滑动开门节省手套箱空间
★节约实验室场地不占用手套箱以外空间
★西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选，完善的逻辑程序互锁保护及异常报?/p>
★可搭配离子源进行表面清洁和离子辅助蒸镀，也可搭配电阻蒸发源使用
★行星式工件架，公转+自转/穹顶?自动翻面/平板式工件架可选，转速可谂/p>
设备参数９/p>
★腔体尺寸（L×W×Hmm)?00×500×600mm/600×650×800mm
★真空极限：优于?E?5）Pa
抽速保压：?E?4）≤30min保压12小时?pa
★膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%（/p>
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