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PD-700多功能离子镀膜设备品牌
普迪真空产地
湖北样本
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产品摘要
该设备用于多种涂层制备,尤其是硬质涂层及防腐耐磨涂层、装饰镀材料制备;可广泛用于大专院校、研究院所和企业器件研发制造及小批量生产。
产品介绍
设备特点:
★设备可配备矩形磁控溅射靶,圆形平面靶、柱状靶,多弧靶,离子源等
★设备功能强大、磁控、多弧、离子源等通用接口安装实现任意组合,可**限度实现多种类膜层的制备
★适合研发实验室初期多用途薄膜制备平台的搭建
设备参数:
★腔体尺寸:304不锈钢腔室Φ650×H700mm
★真空极限:优于(5E﹣05)Pa
★工件架:约Φ350mm,4-6工位公/自转工件架;可加偏压
★工件烘烤温度:室温500±5℃ 可调可控(PID控温)
★工件架转速:0-20RPM可调
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