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型号
PD-60/80MP微波等离子体化学气相沉积设备品牌
普迪真空产地
湖北样本
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产品摘要
微波等离子体化学气相沉积设备具有性能先进、功能完善、结构合理，使用方便、安全可靠、外形美观，特别适合应用于单晶和多晶金刚石膜、类金刚膜的化学汽相沉积(CVD);材料表面处理和改性；低温氧化物的生长等领域、/p>
产品介绍
设备特点９/p>
★微波系统微波频?450±25MHz 微波泄漏? mw/cm²
★真空系统工作气压范?~250Torr,自动稳压范围40~250Torr
★气路系统自带四路MFC,可扩展至六路
★自带缺水，缺气，电源缺相，等离子体偏移，过温过载，打火等自动保护，生产流程通过工艺配方自动控制，全自动温度控制，气压控制等
★软件配置西门子PLC+10寸西门子触摸显示屏，所有操作均可在触摸屏上完成
设备参数９/p>
★输出功率：0.6kw~6kw /0.6kw~15kw 连续可调
★生长台：沉积台?0mm，高度为110mm/沉积台为100mm，高度为110mm
★基片台：电动升降式水冷直径80mm钼基片台直径?0mm/电动升降式水冷直?00mm钼基片台直径?5mm
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移动?/p>
工商已核宝/p>
